半導体CMP装置消耗部品
Aタイプ
- リテーナーリング(Retainer Ring)
- フレクサー（Diaphragm Seal)
- メンブレン(Membrane)
- ジンバルフレクサー(Flexure Gimbal)SET
- キャリアプレート(Carrier Plate)
- クランプアウトレット(Clamp Outlet)
- マニホールドフランジ(Mani Hold Flange)
- プラテン(Platen)
- スキンカバー(Skin Cover)
Eタイプ
Sタイプ
露光装置消耗部品
その他製作事例
GALLERY
CMP部品 Aタイプ
Platen Retainer Ring 
4”Clamp 
Carrier Plate 
Gimbal Plate 
Gimbal Socket
Gimbal Rod Clamp Outlet Mani Fold Flange Diaphragm Seal Support Pad ＆ Membrane
CMP部品 Eタイプ
8″ Retainer Ring 写真準備中
CMP部品 Sタイプ
Y Retainer Ring 写真準備中
露光装置消耗部品、その他製作事例
Reticle Case 
DBC Chuck Roller 
I Type Retainer Ring Drive Cap Drive Roller
